純水霧化器作為將液態水轉化為微米級水霧的核心設備，其操作規范直接關系到設備壽命、測試精度及環境安全。

　　純水霧化器維護保養體系：分級管理策略：

　　1.日常維護需執行“五查制度”：檢查電源線絕緣層、檢查發煙管密封圈、檢查水位傳感器、檢查霧化噴頭、檢查排水閥。每周需進行一次深度清潔，將霧化室拆卸后浸泡于1:3白醋水溶液中30分鐘，此方法可去除98%以上的水垢沉積。

　　2.季度保養需重點檢測超聲波振子性能，使用激光粒度分析儀測試霧化粒徑分布，當D50值偏離設定值±15%時，需更換振子組件。每運行500小時需對電路板進行除塵處理，使用壓縮空氣罐以0.2MPa壓力吹掃散熱鰭片間隙。

　　3.年度檢修需委托專業機構進行，檢測項目包括：絕緣電阻測試（≥50MΩ）、接地電阻測試（≤0.1Ω）、發煙均勻性測試（變異系數CV≤5%）。

　　純水霧化器安全操作規范：風險防控要點：

　　1.電氣安全方面，需嚴格遵守“一機一閘”原則，禁止與其他大功率設備共用插座。設備外殼接地電阻需定期檢測，當接地線斷裂或接觸不良時，設備運行產生的靜電可能引燃高濃度水霧（雖無毒但含氧量高）。

　　2.環境安全方面，在半導體潔凈室使用時，需確認水霧顆粒不會對光刻膠等敏感材料產生污染。測試前需進行兼容性實驗，將水霧噴灑在樣品表面24小時后，使用顯微鏡觀察是否出現腐蝕痕跡。

　　3.操作安全方面，禁止在設備運行過程中觸摸霧化噴頭，其表面溫度可達60-70℃，可能造成低溫燙傷。移動設備時需先排空水箱，4升水的慣性沖擊可能導致主機跌落損壞。當發煙量突然下降時，需立即停機檢查，強行運行可能導致超聲波振子碎裂，飛濺的陶瓷碎片具有高速穿透性。